Beschreibung
"Introduction to Microelectronic Fabrication: Volume 5" von Richard C. Jaeger ist ein umfassendes Lehrbuch, das sich mit den grundlegenden Prinzipien und Techniken der Mikroelektronikfertigung befasst. Es gehört zur Modular Series on Solid State Devices und bietet eine detaillierte Einführung in die Prozesse, die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Das Buch behandelt Themen wie Lithografie, Ätzverfahren, Oxidation, Diffusion und Ioneneinbettung. Darüber hinaus wird auf moderne Technologien und Herausforderungen in der Fertigung eingegangen. Ziel des Buches ist es, Studierenden und Fachleuten ein fundiertes Verständnis der mikroelektronischen Herstellungsprozesse zu vermitteln und sie auf praktische Anwendungen in der Industrie vorzubereiten.
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